Оборудование для создания и исследования свойств объектов...

Main
Оборудование для создания и...

Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники

Чистоедова И. А.

0 / 0

Насколько вам понравилась эта книга?

Какого качества скаченный файл?

Скачайте книгу, чтобы оценить ее качество

Какого качества скаченные файлы?

Издательство:

ТУСУР

Язык:

russian

Страницы:

98

Файл:

PDF, 2.29 MB

IPFS:

,

russian0

Читать Онлайн

Скачать (pdf, 2.29 MB)

Выполняется конвертация в

Конвертация в не удалась

Вас может заинтересовать

Миронов В. Л. — Основы сканирующей зондовой микроскопии

Миронов В.Л. — Основы сканирующей зондовой микроскопии

Шабанов Ш. Ш., Кардашова Г. Д., Даллаева Д. С. — Сканирующая зондовая микроскопия для исследования керамических материалов: пособие к курсу лекций

Волкова Е. В., Забавичев И. Ю., Оболенский С. В. — Исследование рельефа поверхности полупроводниковой hemt-структуры методом атомно-силовой микроскопии: Практикум

Авачёв А. П., Вишняков Н. В., Гололобов Г. П., Митрофанов К. В. — Методические пособия для проведения лабораторных работ по направлению «Наноматериалы»

Волкова Е. В., Забавичев И. Ю., Оболенский С. В. — Исследование рельефа поверхности полупроводниковой hemt-структуры методом атомно-силовой микроскопии: Практикум

Шабанов Ш. Ш., Кардашова Г. Д., Даллаева Д. С. — Сканирующая зондовая микроскопия для исследования керамических материалов: пособие к курсу лекций

— МЕТОДЫ И ОБОРУДОВАНИЕ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ПРОИЗВОДСТВА НАНОГЕТЕРОСТРУКТУР И НАНОГЕТЕРОСТРУКТУРНЫХ МОНОЛИТНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

Нарайкин, О.С. — Введение в микросистемную технику

Ануфриев Л.П., Бордусов С.В. и др. — Технология интегральной электроники

Корнилов В. М., Галиев А.Ф.;рец.: Асфандиаров Н.Л., Рахмеев Р.Г. — Основы сканирующей зондовой микроскопии: метод. указания

Романовский М.Н. — Интегральные устройства радиоэлектроники. Часть 1. Основные структуры полупроводниковых интегральных схем

Корнилов В.М., Галиев А.Ф. — Основы сканирующей зондовой микроскопии

Смирнов С.В. — Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем

Нарайкин О.С., Потловский К.Г., Холевин В.В. — Введение в микросистемную технику

Бондаренко В.П. — Курс лекций по дисциплине Нанотехнология

Лапшинов Б.А. — Технология литографических процессов

Смирнов С.В. — Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем

Усанов Д.А., Яфаров Р.К. — Исследование поверхности материалов методом сканирующей туннельной микроскопии

Агеев О.А., Федотов А.А., Смирнов В.А. — Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники. Учебное пособие. Часть 1

Демиховский В.Я., Филатов Д.О. — Исследование электронных состояний в низкоразмерных структурах методами сканирующей зондовой микроскопии

Удовиченко С.Ю. — Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро - и наноэлектроники. Часть 2-я

Удовиченко С.Ю. — Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро - и наноэлектроники. Часть 3-я

Андреева Н.В., Габдуллин П.Г. — Физика и диагностика биомолекулярных систем. Исследования методами зондовой микроскопии

Булыгина Е.В., Макарчук В.В. и др. — Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование

Круглов А.В., Голубок А.О. — Сканирующая зондовая, спектроскопия и литография

Булыгина Е.В., Макарчук В.В., Панфилов Ю.В., Оя Д.Р., Шахнов В.А. — Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование

Федоров А.В., Баранов А.В., Литвин А.П., Черевков С.А. — Специальные методы измерения физических величин

Миронов В. Л. — Основы сканирующей зондовой микроскопии

Физический факультет МГУ им. М.В. Ломоносова — Современные достижения бионаноскопии: Сборник тезисов Второй международной конференции (Москва, 17-18 июня 2008 г.)

Филатов Д.О., Круглов А.В. — Исследование поверхности твердых тел методом сканирующей туннельной микроскопии (СТМ). Описание лабораторной работы

Коллектив авторов — Растровая электронная микроскопия для нанотехнологий. Методы и применение

Румак Н.В. — Компоненты МОП-интегральных микросхем

Ю.А. Иванов, В.М. Башков, В.Д. Шашурин, Н.В. Федоркова — Нанотехнологии и микромеханика. Ч. 4. Зондовые нанотехнологии

Неволин В.К. — Зондовые методы создания структур наноэлектроники

Ключевые слова

поверхности

литографии

позволяет

литография

изображение

подложки

структуры

осаждения

электронов

поверхностью

поверхность

технологии

излучения

качестве

получения

структур

травления

материалов

наноструктур

создания

туннельного

изображения

осаждение

установки

элементов

разрешение

исследования

микроскопии

настоящее

формирования